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双焦干涉球面轮廓仪项目简介
2014-9-4 来源：正航仪器 作者：正航网络 阅读：次
双焦干涉球面微观轮廓仪是利用双焦偏振共光路干涉及电子共模抑制技术设计的新型表面轮廓仪。
本仪器具有分辨率高，抗干扰能力强，无需专门参考面，能自动扫描采样并显示表面二维轮廓及数据等优点，是目前国内外首次研制成功的能用于各种球面轮廓非接触检测的精密仪器。
经实测，本仪器的纵向分辨率可达 0.1mm数量级，横向分辨率小于2mm，曲率半径范围为 ±R5～±30，达到了目前国际先进水平，能满足大部分显微物镜及其它球面的表面轮廓测量。可广泛应用于光学行业，精密机械行业及相关科研部门的球面轮廓的精密检测。http://www.zhenghangsy.net
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